Page 48 - วิทยาศาสตร์เทคโนโลยี และสิ่งแวดล้อมเพื่อชีวิต
P. 48
9-38 วทิ ยาศาสตรเ์ ทคโนโลยแี ละสง่ิ แวดล้อมเพ่ือชวี ติ
แสงเลเซอร์ ชนั้ โครเม่ยี ม
ตัวรองรับท�ำดว้ ยแก้ว
ภาพที่ 9.23 การใช้แสงเลเซอร์เขียนรูปแบบวงจรสำ�หรับไมโครชิป
ข้ันตอนที่ 2 การผลิตรูปแบบวงจรไมโครชิปโดยใช้รูปแบบส่วนของวงจรไมโครชิปท่ีสร้างขึ้นใน
ข้นั ตอนที่ 1 ผลิตรูปแบบวงจรไมโครชิปโดยใช้แสงอลั ตราไวโอเลต (ภาพท่ี 9.24)
แสงอัลตราไวโอเลต
วงจรไมโครชปิ มาสค์
เลนส ์
แผ่นซิลกิ อนที่เคลือบ
ชน้ั สารไวแสง
ภาพที่ 9.24 การผลิตวงจรไมโครชิปบนแผ่นซิลิกอนโดยใช้แสงอัลตราไวโอเลต
